一台光刻机寿命是多久

作者：yangjie111  访问：683  发布时间：2023-11-04 11:21:17

20年。光刻机的寿命实际上没有一个正规数据，主要是看它的经济寿命，只要还能找到零部件更换光刻机就还有使用价值,使用寿命可达20年。光刻机(Mask Aligner) 又名，掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。